无尘室检测方法：检测哪些点以及如何进行（全 7 点）

掌握洁净室的 7 个关键测试点：微粒计数、风速、HEPA 过滤器、房间压差、气流、噪音和照度测试，以及所使用的专业设备

正确的无尘室（Cleanroom）检测方法必须涵盖 7 个核心要点，从交付前的验收检测到运行后的定期例行检测，以证实无尘室完全符合 NEBB 标准运行。不完整或未涵盖所有点的检测可能会导致偏差或无法反映真实情况的结果。本文由 VOV 团队整理，总结了 7 个点的“无尘室检测方法”，旨在为各级别企业提供指南。

เลือกอ่าน

无尘室应用于哪些行业？

无尘室性能测试 (Cleanroom Performance Testing, CPT) 是指对无尘室运行效率进行验证的工序，以证实包括空气洁净度级别、压力、风速、照明和噪音在内的各项参数均符合 ISO 14644-1 与 NEBB 规定的标准，无论是在投入使用前还是在房间整个使用寿命期间

CPT 主要分为 2 大类，即 工业无尘室 (ICR) 与 医疗/生物无尘室 (BCR) ，根据国际标准，它们有着不同的测试准则

无尘室检测如何进行？

การวัดค่าฝุ่นในห้องคลีนรูมด้วยเครื่อง Particle Counter ตามมาตรฐาน ISO 14644-1

1. 检测粉尘、病菌和细菌

悬浮粒子（粉尘）检测是无尘室测试中最关键 Steps，因为它是判定该房间 whether 通过 ISO 14644-1 级别认证的依据。所使用的核心设备是 尘埃粒子计数器 (Particle Counter) ，其包含中型（如图所示）和更小的尺寸。

悬浮粒子检测流程始于将空气吸入粒子计数器（Particle Counter）设备内，然后测量并输出粒子数值，以与无尘室的规格（级别）进行比对。计算每 1 立方英尺空气体积中的粒子数，并记录为测试结果。在检测过程中，检测人员必须尽量减少身体摆动，以防止产生额外的粉尘

การวัดความเร็วลมและประสิทธิภาพระบบ HVAC ในคลีนรูมด้วย Direct Reading Hood

2. 风速 (Airflow Velocity)

“风速测量”涉及室内空气的流动，其必须符合以下两类房间的规格配置： 正压无尘室 与 负压无尘室

风速检测是对 HVAC 系统效率的衡量，该系统负责调节室内的温度和气压。如果风速不符合规格，则必须首先调整 HVAC 系统。所使用的设备 market 是 风量罩 (Direct Reading Hood) ，其外形类似于覆在吊顶送风口上的非对称矩形圆筒罩，随后进行数值测量并在显示屏上输出结果

วิธีทดสอบแผ่นกรองอากาศ HEPA Filter เพื่อหาจุดรั่วไหลด้วยสาร PAO และ Scanning Probe

3. HEPA 过滤器空气过滤

无尘室检测方法的核心关键是对 高效过滤器 (HEPA Filter)过滤器进行检查，以检测每一个缝隙、每一个通道、每一个角落是否存在泄漏

检测流程始于通过气溶胶发生器（Aerosol Generator）将 PAO（聚α-烯烃，Polyalphaolefin） 物质引入系统内，以产生流入 HVAC 通风系统的特殊烟雾。随后，使用扫描探头（Scanning Probes）再次对 HEPA 过滤器的循环情况和泄漏位置进行全面盘查，以证实不存在任何泄漏点

การตรวจสอบความดันห้อง Cleanroom ทั้งแบบความดันบวกและความดันลบด้วย Manometer

4. 房间压力 (Room Pressure)

通过测量室内气压来进行的无尘室检测方法，必须始终与“无尘室类型”相一致，其分为 2 种类型： 正压无尘室 与 负压无尘室

测量房间压力是一项非常重要的检测方法。团队使用称为 微压计 (Manometer) 的仪器来测量室内压力，使其符合使用无尘室的行业的规格、类型和需求。所获得的值将表明房间是否能够正确控制气流的方向

การทดสอบทิศทางการไหลของอากาศ (Airflow Parallelism) ในห้องคลีนรูม

5. 气流平行度 (Airflow Parallelism)

根据设计原则，无尘室被设计为封闭系统，以严格控制各类颗粒物的进出。但在实际操作中，进入无尘室工作的工作人员需要氧气呼吸，这就需要一个平衡的内部空气循环系统

气流平行度测试 (Airflow Parallelism Test) 是测试空气循环率，即气流平行度测试，这对于高效无尘室来说是一项非常重要的测试。它要求在每个环节都有完美的空气循环，有明确的进风口和出风口，空气流通顺畅，且不会产生异味积聚。系统可以对气流平行度测试进行监控，其采用与 HVAC 空调系统和 HEPA 过滤器相同的测试方法

การทดสอบความดังของเสียงในห้อง Cleanroom ด้วยเครื่อง Sound Level Meter

6. 噪音水平 (Sound Level)

不要认为声音不重要！因为良好的沟通是工作效率的核心，有助于减少工作中的失误和事故。团队可以使用以下设备套件来测试无尘室内的噪音水平：

  • 声级计 (Sound Level Meter, SLM) – 噪音测量仪
  • 全倍频程和三分之一倍频程滤波器 (Full And Third Octave Filters) – 声音频率分析滤波器
  • 声学校准器 (Acoustic Calibrators) – 校准仪器

如果无尘室的噪音超过规定限值，无论是来自室内（例如机器运行的声音），还是来自外部的噪音干扰，负责人都必须通知无尘室检测服务提供商，以确保达到可接受的标准

การตรวจวัดความสว่างของแสงภายในห้องคลีนรูมด้วย Light Meter

7. 照明 (Lighting)

最后一项无尘室检测方法是测量室内的光线和亮度，可以使用 照度计 (Light Meter) 来检测室内照明水平和光照强度。如果房间光线过暗，将会影响工作的准确性，同时也会影响员工的眼部健康

检测无尘室的亮度时，应设定达到最适合其应用行业的最大亮度，并且应定期进行检测，以确保照明灯具始终保持正常工作

无尘室检测如何进行？

检测点 设备 检测内容
1. 粉尘/细菌值 尘埃粒子计数器 (Particle Counter) 每立方英尺颗粒数，与 ISO Class 对比
2. 风速 (Airflow Velocity) 风量罩 (Direct Reading Hood) 气流速率，与 HVAC 系统相符
3. HEPA 过滤器 气溶胶发生器 + 扫描探头 空气过滤器泄漏情况
4. 房间压力 (Room Pressure) 微压计 (Manometer) 微压计 (Manometer) / 正/负压力值，符合房间类型
5. 空气循环 气流平行度测试 (Airflow Parallelism Test) 内部空气的方向与平衡
6. 噪音水平 声级计 (SLM) + 声学校准器 室内噪音水平，不超过标准
7. 照明 (Lighting) 照度计 (Light Meter) 工作区域的光照强度

何时应该进行无尘室检测？

除此之外，还有针对特定点的额外无尘室检测。这是由“企业主”和“无尘室检测服务提供商”共同达成的协议。这被归类为高级阶段，其细节比通常情况更为复杂

如果无尘室通过了检测，工作人员必须提交数据、原因以及出现问题或未达标部分的详细信息，以便企业主提交修正方案，进行第二次的改进和强化。第二次的无尘室检测是根据客户的需求进行的，并为新的设置选择最佳方案

有关检测周期的更多信息，请阅读文章: 无尘室应该何时以及如何进行检测

VOV 随时为您提供符合全套标准的无尘室检测服务

VOV International 提供涵盖全部 7 个点的 无尘室检测 由通过 NEBB 认证的专家团队执行。NEBB 是一家在全球无尘室行业内具有最高信誉度的国际级组织。无论是在交付时，还是在投入使用后按规定的周期，均可进行检测

VOV International 提供全方位的一站式 洁净室交钥匙工程 建设服务，从设计、施工、系统安装，直到由第三方（Third Party）进行检测。一旦通过检测，将立即获得认证证书（Certification）

👉 联系 VOV 团队，咨询无尘室检测事宜

常见问题 (FAQ)

วิธีทดสอบ Cleanroom มีกี่วิธี?

การทดสอบ Cleanroom มาตรฐานครอบคลุม 7 จุดสำคัญ ได้แก่ (1) วัดค่าฝุ่นและแบคทีเรียด้วย Particle Counter (2) วัดความเร็วลมด้วย Direct Reading Hood (3) ตรวจสอบ HEPA Filter ด้วย PAO + Scanning Probes (4) วัดความดันห้องด้วย Manometer (5) ทดสอบการไหลเวียนอากาศ (Airflow Parallelism) (6) วัดความดังเสียงด้วย Sound Level Meter และ (7) วัดความสว่างด้วย Light Meter

Cleanroom Performance Testing (CPT) คืออะไร?

CPT คือกระบวนการทดสอบประสิทธิภาพของห้องคลีนรูมอย่างครอบคลุม เพื่อยืนยันว่าระดับความสะอาดของอากาศ ความดัน ความเร็วลม แสงสว่าง และเสียง อยู่ในมาตรฐานที่กำหนดตาม ISO 14644-1 และ NEBB ดำเนินการโดยผู้เชี่ยวชาญและใช้อุปกรณ์เฉพาะทาง

ทำไมต้องทดสอบ HEPA Filter ด้วย PAO?

PAO (Polyalphaolefin) เป็นสารที่ใช้สร้างอนุภาคจำลองเพื่อทดสอบการรั่วไหลของแผ่นกรอง HEPA Filter ในทุกตำแหน่ง เนื่องจาก HEPA Filter ที่รั่วจะทำให้ฝุ่นและสิ่งปนเปื้อนผ่านเข้ามาในห้องได้ ส่งผลให้คลาสของห้องไม่เป็นไปตามมาตรฐาน ISO ที่กำหนดไว้

ใครเป็นผู้ทดสอบ Cleanroom ที่ได้มาตรฐาน?

การทดสอบ Cleanroom ที่มีคุณภาพต้องดำเนินการโดยผู้เชี่ยวชาญที่ผ่านการรับรองจาก 美国国家环境平衡局 (NEBB - National Environmental Balancing Bureau) ซึ่งเป็นองค์กรระดับนานาชาติ โดย VOV International เป็นหนึ่งในผู้ให้บริการทดสอบ Cleanroom ที่ได้รับการรับรองจาก NEBB ในประเทศไทย

ทดสอบ Cleanroom แล้วไม่ผ่านต้องทำอย่างไร?

หากห้องคลีนรูมทดสอบไม่ผ่าน ทีมงานผู้เชี่ยวชาญจะรวบรวมข้อมูล เหตุผล และรายละเอียดส่วนที่เกิดปัญหาส่งให้เจ้าของโครงการ เพื่อดำเนินการแก้ไขปรับปรุงระบบ แล้วจึงทำการทดสอบซ้ำอีกครั้ง โดย VOV พร้อมให้คำปรึกษาและแก้ไขจนได้มาตรฐาน

Share the Post:

相关文章