เจาะลึก NEBB Cleanroom Performance Testing (CPT) คืออะไร? ต้องทดสอบอะไรบ้าง?

NEBB Cleanroom Performance Testing (CPT) คือมาตรฐานการทดสอบประสิทธิภาพห้องคลีนรูมที่ครอบคลุมและได้รับการยอมรับในระดับสากล กำหนดโดย NEBB (National Environmental Balancing Bureau) องค์กรผู้เชี่ยวชาญที่ก่อตั้งขึ้นในปี ค.ศ. 1971 CPT ประกอบด้วย 13 การทดสอบหลัก ที่วัดทุกมิติของห้องคลีนรูม ตั้งแต่การไหลเวียนของอากาศ ความสะอาดของอนุภาค ไปจนถึงการรบกวนทางแม่เหล็กไฟฟ้า (EMI)

สำหรับโรงงานในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ เภสัชกรรม หรือเทคโนโลยีชีวภาพ การเข้าใจกระบวนการ CPT อย่างละเอียดถี่ถ้วนเป็นสิ่งสำคัญ เพราะผลการทดสอบจะเป็นตัวยืนยันว่าห้องคลีนรูมมีประสิทธิภาพตรงตาม Class ที่ออกแบบไว้หรือไม่ สามารถดูข้อมูลเพิ่มเติมเกี่ยวกับ บริการทดสอบห้องคลีนรูม ของ VOV International ได้ที่ลิงก์

NEBB Cleanroom Performance Testing (CPT) คืออะไร?

NEBB Cleanroom Performance Testing (CPT) คือ
ชุดการทดสอบประสิทธิภาพของห้องคลีนรูมจำนวน 13 รายการ ที่กำหนดโดย NEBB (National Environmental Balancing Bureau) ซึ่งก่อตั้งขึ้นในปี ค.ศ. 1971 CPT ครอบคลุมการวัดค่าทางกายภาพ เคมี และสิ่งแวดล้อมของห้องคลีนรูมอย่างรอบด้าน เพื่อรับรองว่าห้องมีสภาพแวดล้อมที่ควบคุมได้ตามมาตรฐานที่กำหนด และเป็น 1 ใน 7 มาตรฐานหลักของ NEBB ที่ได้รับการยอมรับทั่วโลก

ประเภทของ Cleanroom ที่เข้ารับการทดสอบ CPT

ห้องคลีนรูมแบ่งออกเป็น 2 ประเภทหลักตามการใช้งาน สามารถดูรายละเอียดเพิ่มเติมเกี่ยวกับ บริการสร้างห้องคลีนรูมแบบครบวงจร ของ VOV International ได้ที่นี่:

Cleanroom ในอุตสาหกรรม (Industrial Clean Room: ICR) เช่น ห้องผลิตไมโครอิเล็กทรอนิกส์ เซมิคอนดักเตอร์ และคอมพิวเตอร์ ที่ต้องการควบคุมอนุภาคฝุ่นอย่างเข้มงวด
Cleanroom ชีวภาพ (Biological Clean Room: BCR) เช่น โรงงานยา อุตสาหกรรมน้ำมันสกัดจากกัญชา (CBD) และห้องปฏิบัติการทางชีววิทยา ที่ต้องควบคุมทั้งอนุภาคและเชื้อจุลินทรีย์

เปรียบเทียบ ICR vs BCR: ความแตกต่างของ Cleanroom ทั้ง 2 ประเภท

หัวข้อ	Industrial Clean Room (ICR)	Biological Clean Room (BCR)
อุตสาหกรรมหลัก	เซมิคอนดักเตอร์, อิเล็กทรอนิกส์	เภสัชกรรม, ชีววิทยา, CBD
สิ่งที่ควบคุม	อนุภาคฝุ่น (Particle)	อนุภาค + จุลินทรีย์ (Microorganism)
มาตรฐานอ้างอิง	ISO 14644-1, NEBB CPT	ISO 14644-1, GMP, NEBB CPT
ISO Class ทั่วไป	ISO Class 1–6	ISO Class 5–8 / GMP Grade A–D
ตัวอย่างโรงงาน	Seagate, Western Digital, NXP, Lumentum	โรงงานยา, ห้องแล็บชีวการแพทย์

13 การทดสอบใน NEBB Cleanroom Performance Testing (CPT)

การทดสอบทั้ง 13 รายการต้องดำเนินการโดย NEBB Certified CPT Firm เท่านั้น เพื่อให้ผลการทดสอบมีความน่าเชื่อถือและเป็นที่ยอมรับในระดับสากล:

1. การวัดค่าไหลเวียนของอากาศ (Airflow Velocity Test)

จุดประสงค์: วัดค่าการไหลเวียนของอากาศที่จ่ายเข้าห้องคลีนรูมโดยเฉลี่ย (Average Supply Airflow Velocity) ที่ผ่านเข้ามาจากแผ่นกรองบนเพดาน รวมถึงวัดประสิทธิภาพของ FFU (Fan Filter Unit) และแผ่นกรอง

B กระบวนการทดสอบ

วัดค่าการไหลเวียนอากาศผ่านตัวกรองด้วยเครื่อง Thermal Anemometer หรือ Tube Array ด้วย Digital Manometer
วัดในระยะ 50 มม., 150 มม. หรือ 300 มม. ด้านล่างผิวหน้าแผ่นกรองบนเพดาน
วัดค่าไหลเวียนอากาศ 5 วินาที คิดค่าเฉลี่ย 2 ค่า เพื่อการบันทึกที่แม่นยำ
ตรวจสอบค่าไหลเวียนของอากาศทั้งห้องคลีนรูม

C เกณฑ์ที่รับได้ (Acceptance Criteria)

ค่าการไหลเวียนอากาศของแต่ละตัวกรอง ต้องอยู่ภายใน ±10% ของการออกแบบ
ค่าไหลเวียนอากาศภาพรวมทั้งห้องคลีนรูม ต้องอยู่ภายใน ±10%
ค่าเบี่ยงเบนมาตรฐานสัมพัทธ์ในการวัดค่าไหลเวียนอากาศ ไม่เกิน 15%

2. ระบบเพดานห้องคลีนรูม / การทดสอบการรั่วไหลของตัวกรอง (Filter Leakage Test)

จุดประสงค์: ตรวจสอบความแน่นของระบบเพดานห้องคลีนรูมและตัวกรอง HEPA/ULPA Filter หลังจากการติดตั้ง เพื่อป้องกันการรั่วไหลของอนุภาคผ่านรอยต่อของระบบเพดาน

B กระบวนการทดสอบ

ทดสอบจากส่วนประกอบทั้งหมดของระบบเพดานห้องคลีนรูม
ปล่อยสาร Microsphere® ผ่าน Generator ไปสู่ระบบอากาศที่หมุนเวียนในห้องคลีนรูม
สแกนพื้นที่ Filter ที่มีค่าความเร็วคงที่ (Isokinetic) ในระยะ 25 มม. ห่างจากผิวหน้าตัวกรอง
บันทึกค่า Np (Np Values) ตามมาตรฐาน NEBB Procedural Standard For Certified Testing Of Cleanrooms
สแกนรอยต่อระหว่างส่วนประกอบของระบบเพดานและตัวกรอง รอยต่อระหว่างผนังกับเพดาน ท่อสปริงเกอร์ และท่อร้อยสายไฟ

C เกณฑ์ที่รับได้ (Acceptance Criteria)

ส่วนประกอบระบบเพดานที่มีการรั่วไหลถึง 0.01% ของความหนาแน่นที่ตรวจสอบได้ จะไม่ผ่านเกณฑ์
แผ่นกรองที่มีพื้นที่รวมซ่อมแซม (Accumulative Total Repair Area) ≥ 3% ของเนื้อที่แผ่นกรองชั้น Media จะไม่ผ่านเกณฑ์

3. การวัดค่าอนุภาคในอากาศ (Airborne Particle Count Cleanliness Classification Test)

จุดประสงค์: วัดค่าอนุภาคในอากาศเพื่อจัดระดับ ISO Class ของห้องคลีนรูม โดยอ้างอิงมาตรฐาน ISO 14644-1 ในทุกภาวะการใช้งาน ได้แก่ At-Built, At-Rest และ Operational

B กระบวนการทดสอบ

ทดสอบการรั่วไหลของแผ่นกรองและค่าความดัน การไหลเวียนของอากาศ ก่อนแล้วจึงทดสอบอนุภาค
ทดสอบในระยะห่างไม่เกิน 1,066 มม. (42 นิ้ว) เหนือพื้นขึ้นไป ตามมาตรฐาน ISO 14644-1
ต้องทดสอบในสภาวะที่กำหนด: ปราศจากปัญหาจากสภาพแวดล้อม หรือโดยไม่โต้โผ้งระหว่างเจ้าของ/ผู้รับเหมา

C เกณฑ์ที่รับได้ (Acceptance Criteria)

ค่าอนุภาคต้องอยู่ในระดับ ISO Class ที่กำหนด ตามตารางมาตรฐาน ISO 14644-1
ต้องทดสอบไม่น้อยกว่า 1 และไม่เกิน 10 ค่า ที่ค่า 95% UCL (Upper Confidence Limits)
หากพบ 'ค่าผิดปกติ' (Outlier Values) ต้องรายงาน และคำนวณค่าใหม่ตามเกณฑ์ที่กำหนด

4. การวัดค่าแรงดัน (Pressurization Test)

จุดประสงค์: ตรวจสอบว่าระบบหมุนเวียนอากาศ (Air-Handling Systems) สามารถรักษาระดับความแตกต่างของความดัน (Differential Pressure) ระหว่างห้องคลีนรูมและบริเวณใกล้เคียงตามที่ออกแบบไว้

B กระบวนการทดสอบ

วัดและบันทึกค่าความแตกต่างของความดันสัมพัทธ์ (Relative Pressure Differential) ระหว่างห้องคลีนรูมและบริเวณใกล้เคียง
วัดตามลำดับจากพื้นที่ที่ต้องการความสะอาดสูงสุดไปยังพื้นที่ที่ต้องการความสะอาดต่ำสุด

C เกณฑ์ที่รับได้ (Acceptance Criteria)

เปรียบเทียบค่าที่วัดได้กับค่าความดันในแบบออกแบบดั้งเดิม (Positive Pressure หรือ Negative Pressure ตามการออกแบบ)

5. การวัดค่าการหมุนเวียนอากาศคู่ขนาน (Airflow Parallelism Test)

จุดประสงค์: ตรวจสอบทิศทางการไหลของอากาศที่จ่ายเข้าห้องคลีนรูม (Supply Air) ว่าไหลในแนวตั้งขนานกันอย่างสม่ำเสมอ

B กระบวนการทดสอบ

วัดและบันทึกค่าเส้นทางการไหลของอากาศคู่ขนานแนวตั้ง (Parallel Vertical Flow Path)
แบ่งห้องคลีนรูมเป็นช่องๆ พื้นที่มากกว่า 3 เมตร × 3 เมตร และวัดค่าประเมินตลอดแต่ละช่อง

C เกณฑ์ที่รับได้ (Acceptance Criteria)

มุมโก่งตัว (Angle Of Deflection) ≤ 14 องศา จากจุดศูนย์กลาง เมื่อวัดค่าที่ความสูงมากกว่า 915 มม.

6. การทดสอบการฟื้นตัว (Recovery Test)

จุดประสงค์: ทดสอบว่าระบบหมุนเวียนอากาศ (Air-Handling Systems) ในห้องคลีนรูมสามารถคืนค่าความสะอาดตาม Class ที่กำหนด หลังจากถูกปนเปื้อนจากภายนอก ผู้ใช้ หรืออุปกรณ์ ได้ภายในเวลาเท่าใด

B กระบวนการทดสอบ

วัดค่าฝุ่นโดยแสดงระดับเริ่มต้นความเร็วของอากาศ
ใส่ Aerosol เข้าไปในอากาศที่จ่ายเข้าสู่ห้องคลีนรูม (Supply Air) เพื่อจำลองการปนเปื้อน
ISO Class 5 ห้องคลีนรูมต้องฟื้นสภาพให้คืนค่าภายใน 100 เท่า จากระดับเดิม
ISO Class 6–8 ต้องฟื้นสภาพ 10 เท่า จากระดับที่ปนเปื้อน

C เกณฑ์ที่รับได้ (Acceptance Criteria)

เงื่อนไขการทดสอบที่ตกลงกันระหว่าง Owner / ผู้รับเหมา และองค์กรที่รับรองตรวจสอบห้องคลีนรูม (NEBB Certified CPT Firm)

7. การทดสอบระดับแสงสว่าง (Lighting Level Test)

จุดประสงค์: วัดระดับความเข้มแสงในทุกพื้นที่ปฏิบัติงานของห้องคลีนรูม เพื่อตรวจสอบให้มีแสงสว่างเพียงพอตามมาตรฐาน

B กระบวนการทดสอบ

วัดระดับแสงในพื้นที่สูง (High Intensity) หรือระบบแสง Fluorescent Systems ทุกจุดที่ตรวจสอบ
วัดระดับแสงสว่างด้วย Grid ขนาดไม่น้อยกว่า 915 มม. ในทุกพื้นที่ปฏิบัติงาน
วัดค่าแสงในระดับมาตรฐาน NEBB ข้อ 11:1, 11:2, 11:3, 11:4, หรือ 11:5
บันทึกและรายงานค่าในทุก Grid จากมาตรฐาน NEBB Procedural Standards For Certified Testing Of Cleanrooms

C เกณฑ์ที่รับได้ (Acceptance Criteria)

ค่าแสงสว่างต้องตรงตามเกณฑ์ที่ตกลงกัน และไม่ต่ำกว่าค่าที่กำหนดในแบบก่อสร้าง

8. การทดสอบระดับความดังเสียง (Sound Level Test)

จุดประสงค์: ประเมินระดับเสียงในห้องคลีนรูมที่ใช้งานจริง ในภาวะ At-Built, At-Rest และ Operational เพื่อให้มั่นใจว่าระดับเสียงไม่รบกวนกระบวนการผลิตหรือสุขภาพของผู้ปฏิบัติงาน

B กระบวนการทดสอบ

วัดค่าระดับเสียงในการปฏิบัติงานของห้องคลีนรูมในภาวะ At-Built, At-Rest หรือ Operational ตามที่ต้องการ
บันทึกค่า Sound Pressure Levels ในหลายจุดทั่วห้องคลีนรูม

C เกณฑ์ที่รับได้ (Acceptance Criteria)

เปรียบเทียบค่า Sound Pressure Levels กับเกณฑ์ที่กำหนดการทดสอบตามที่ตกลงกันล่วงหน้า

9. การทดสอบระดับความสั่นสะเทือน (Vibration Level Test)

จุดประสงค์: ประเมินการสั่นสะเทือนจากกิจกรรมภายนอกและภายในอาคาร เช่น การสัญจร เครื่องจักร ที่อาจส่งผลต่อความแม่นยำของกระบวนการผลิตอิเล็กทรอนิกส์ระดับนาโนเมตร

B กระบวนการทดสอบ

วัดและบันทึกค่า Vibration Displacement, Velocity และ Acceleration ตามค่าที่ต้องการ
ติดตั้งเครื่อง Accelerometers (หรือ Velocity Pickups) ที่พื้น (Raised Floor) ในห้องคลีนรูม ตามที่ Owner กำหนด
วัดค่า Peak-To-Peak (Displacement), Zero-To-Peak (Velocity) และ Zero-To-Peak (Acceleration)

C เกณฑ์ที่รับได้ (Acceptance Criteria)

ค่าการทดสอบขึ้นอยู่กับข้อตกลงระหว่าง Owner / ผู้รับเหมา

10. การตรวจสอบความสม่ำเสมอของอุณหภูมิและความชื้น (Comprehensive Temperature And Humidity Uniformity Test)

จุดประสงค์: ตรวจสอบความสามารถของระบบ HVAC ในการรักษาอุณหภูมิและความชื้นสัมพัทธ์ให้สม่ำเสมอทั่วห้องคลีนรูมตามที่ออกแบบ

B กระบวนการทดสอบ

ก่อนเริ่ม ต้องปรับตั้งระบบ HVAC ผ่านระบบ TAB (Testing, Adjusting & Balancing) มาก่อน
ติดตั้ง Sensor HVAC แบบออนไลน์ไม่น้อยกว่า 24 ชั่วโมง และวัดค่าอุณหภูมิ/ความชื้นอย่างน้อย 6 ชั่วโมง
รวบรวมข้อมูลอุณหภูมิและความชื้นสัมพัทธ์จากทุกจุดในห้องคลีนรูม วันละ 2 ชั่วโมงรวม 6 ชั่วโมง

C เกณฑ์ที่รับได้ (Acceptance Criteria)

ค่าอุณหภูมิและความชื้นสัมพัทธ์ต้องอยู่ในเกณฑ์ที่กำหนดในแบบก่อสร้าง

11. การตรวจสอบไฟฟ้าสถิต (Electrostatic Test)

จุดประสงค์: วัดปริมาณความสะสมของประจุไฟฟ้าสถิตบนพื้นผิวและวัสดุในห้องคลีนรูม เพื่อป้องกันความเสียหายต่ออุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ที่ไวต่อไฟฟ้าสถิต (ESD Sensitive Devices)

B กระบวนการทดสอบ

วัด Surface Voltage Level ของพื้นผิวทุกจุดที่กำหนด โดยตกลงกับ Owner / ผู้รับเหมา
ใช้ Probe วัดค่า Input/Output ด้วย Electrostatic Voltmeter ให้เป็น 0 ก่อนวัด
ทดสอบ Static Dissipative Test โดยวัดค่าที่ Electrodes ในระยะห่างจากพื้นที่กำหนด
ตรวจสอบระบบ Ion Generator เพื่อรักษาสมดุลประจุไฟฟ้าสถิตในห้อง

C เกณฑ์ที่รับได้ (Acceptance Criteria)

ค่าที่ได้รับต้องอยู่ภายในระดับที่ Owner กำหนดไว้

12. การทดสอบการนำไฟฟ้า (Conductivity Test)

จุดประสงค์: วัดค่าความต้านทานทางไฟฟ้าระหว่างพื้นผิวต่างๆ ในห้องคลีนรูม เพื่อให้มั่นใจว่าพื้นสามารถระบายประจุสถิตได้อย่างมีประสิทธิภาพ

B กระบวนการทดสอบ

ทดสอบ Tile-To-Tile ตามแนวทางการทดสอบ 5 คู่ต่อพื้นที่
วัดที่ 5 จุดที่กำหนดในการทดสอบ ตามที่ระบุกันระหว่าง Owner / ผู้รับเหมา
วัดค่า Floor-To-Building Ground ด้วย Ohmmeter ที่มีความถูกต้องแม่นยำ

C เกณฑ์ที่รับได้ (Acceptance Criteria)

การวัดแบบ Tile-To-Tile ต้องมีค่าเฉลี่ยน้อยกว่า 1 เมกะโอห์ม
การวัดแบบ Floor-To-Building Ground ต้องมีค่าเฉลี่ยน้อยกว่า 1 เมกะโอห์ม

13. การทดสอบการรบกวนทางแม่เหล็กไฟฟ้า (Electromagnetic Interference Test: EMI Test)

จุดประสงค์: ตรวจสอบการรบกวนทางแม่เหล็กไฟฟ้าที่เกิดจากสนามแม่เหล็ก 60 Hz ในตำแหน่งเฉพาะภายในห้องคลีนรูม ซึ่งอาจส่งผลต่อเครื่องมือวัดละเอียดและอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์

B กระบวนการทดสอบ

วัดและบันทึกค่าความเข้มของสนามแม่เหล็ก 5 พื้นที่วิกฤต ตามที่กำหนดโดย Owner
ทดสอบหนึ่งพื้นที่ไม่น้อยกว่า 1,067 มม.
วัดและบันทึกค่าความเข้มของสนามแม่เหล็ก (Flux Density) ในหน่วย Milligauss

C เกณฑ์ที่รับได้ (Acceptance Criteria)

ขึ้นอยู่กับการทดสอบ EMI Test ที่ตกลงกับ Owner โดยค่าที่ยอมรับได้โดยทั่วไปน้อยกว่า 1 Milligauss

คำถามที่พบบ่อย (FAQ)

NEBB Cleanroom Performance Testing (CPT) มีกี่การทดสอบ?

NEBB Cleanroom Performance Testing หรือ CPT ประกอบด้วยการทดสอบ 13 รายการหลัก ได้แก่ Airflow Velocity Test, Filter Leakage Test, Airborne Particle Count Test, Pressurization Test, Airflow Parallelism Test, Recovery Test, Lighting Level Test, Sound Level Test, Vibration Level Test, Temperature & Humidity Uniformity Test, Electrostatic Test, Conductivity Test และ EMI Test ซึ่งครอบคลุมทุกมิติของสภาพแวดล้อมห้องคลีนรูม

NEBB คืออะไร และทำไมต้องใช้มาตรฐาน NEBB สำหรับห้องคลีนรูม?

NEBB (National Environmental Balancing Bureau) คือองค์กรวิชาชีพไม่แสวงหากำไรก่อตั้งขึ้นในปี ค.ศ. 1971 ทำหน้าที่กำหนดมาตรฐานและให้การรับรองการทดสอบสภาพแวดล้อมภายในอาคาร มาตรฐาน NEBB CPT ได้รับการยอมรับในระดับสากลว่าเป็นเกณฑ์ที่ครอบคลุมและเชื่อถือได้มากที่สุดสำหรับการรับรองประสิทธิภาพของห้องคลีนรูม อ่านเพิ่มเติมได้ที่ เว็บไซต์ NEBB

ห้องคลีนรูมต้องทดสอบ CPT บ่อยแค่ไหน?

ตามมาตรฐาน ISO 14644-2 แนะนำให้ทดสอบ Airborne Particle Count (ข้อ 3) อย่างน้อยทุก 6 เดือน สำหรับ ISO Class 5 หรือสะอาดกว่า และทุก 12 เดือน สำหรับ ISO Class 6–9 สำหรับการทดสอบอื่นๆ ใน CPT ความถี่ขึ้นอยู่กับข้อกำหนดของ Owner และเงื่อนไขในสัญญากับ NEBB Certified CPT Firm ดูข้อมูลเพิ่มเติมจาก IEST

ใครสามารถทำการทดสอบ NEBB CPT ได้?

การทดสอบ CPT ตามมาตรฐาน NEBB ต้องดำเนินการโดยบริษัทที่ได้รับการรับรองจาก NEBB (NEBB Certified CPT Firm) เท่านั้น โดยผู้ทดสอบต้องผ่านการอบรมและสอบใบรับรองจาก NEBB เพื่อให้มั่นใจว่ากระบวนการทดสอบเป็นไปตามมาตรฐานสากล VOV International เป็นหนึ่งในผู้ให้บริการที่ได้รับการรับรองจาก #NEBB ในประเทศไทย

CPT แตกต่างจากการทดสอบ Cleanroom ทั่วไปอย่างไร?

CPT ของ NEBB เป็นชุดการทดสอบที่ครอบคลุมที่สุด ครบทั้ง 13 รายการ ในขณะที่การทดสอบห้องคลีนรูมทั่วไปมักทดสอบเพียง 3–5 รายการ เช่น Airflow, Particle Count และ Pressurization การมี CPT Certification จาก NEBB จึงเป็นหลักฐานที่น่าเชื่อถือที่สุดในการรับรองคุณภาพของห้องคลีนรูม และเป็นที่ยอมรับจากผู้ตรวจสอบ (Auditor) ระดับสากล

สรุป

NEBB Cleanroom Performance Testing (CPT) เป็นมาตรฐานการทดสอบห้องคลีนรูมที่ครอบคลุมและเชื่อถือได้มากที่สุดในอุตสาหกรรม ครอบคลุม 13 การทดสอบที่วัดทุกมิติตั้งแต่การไหลเวียนของอากาศ ความสะอาดของอนุภาค ไปจนถึงการรบกวนทางแม่เหล็กไฟฟ้า สำหรับโรงงานในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ เภสัชกรรม หรือเทคโนโลยีชีวภาพ การมีใบรับรอง CPT จาก NEBB เป็นเครื่องยืนยันที่ชัดเจนที่สุดว่าห้องคลีนรูมของคุณมีประสิทธิภาพตรงตามมาตรฐานสากล

VOV International ผู้เชี่ยวชาญด้านการออกแบบ สร้าง ติดตั้ง และ ตรวจสอบห้องคลีนรูม ที่ได้รับการรับรองจาก #NEBB พร้อมให้คำปรึกษาและดูแลการทำห้องคลีนรูมทุกรูปแบบ