เจาะลึกหลักเกณฑ์ NEBB Cleanroom Performance Testing (CPT) คืออะไร?

Cleanroom Performance Testing (CPT) คืออะไร?

การทดสอบประสิทธิภาพของห้องคลีนรูม (Cleanroom Performance Testing : CPT) เป็น 1 ใน 7 มาตรฐานที่กำหนดโดย NEBB (National Environmental Balancing Bureau) คือองค์กรอิสระของสหรัฐอเมริกาในการออกข้อกำหนดและให้การรับรองมาตรฐานภายในอาคาร โดย NEBB ก่อตั้งเมื่อปี ค.ศ.1971*

ในบทความนี้ Cleanroom by VOV international จะพาทุกคนเจาะลึกลงไปในรายละเอียดของการทดสอบประสิทธิภาพห้องคลีนรูม (Cleanroom Performance Testing: CPT) ตามมาตรฐานของ NEBB 

*อ่านเรื่องมาตรฐาน NEBB เพิ่มเติม คลิก 

ประเภทของ Cleanroom Performance Testing (CPT)

คลีนรูมถูกแบ่งออกเป็น 2 ประเภทตามการใช้งาน ได้แก่ 

• คลีนรูมในอุตสาหกรรม (Industrial Clean Room: ICR) เช่น คลีนรูมในอุตสาหกรรมอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ และเซมิคอนดักเตอร์ อุตสาหกรรมผลิตสารเคมีต่างๆ เป็นต้น

• คลีนรูมชีวภาพ (Biological Clean Room: BCR) เช่น โรงงานยา อุตสาหกรรมน้ำมันสกัดจากกัญชา (Cannabidiol: CBD) ห้องปฏิบัติการด้านชีววิทยา และห้องผ่าตัด เป็นต้น

โดยการแบ่งประเภท Cleanroom Performance Testing ก็แบ่งตามประเภทของคลีนรูมเช่นกัน ได้แก่

Cleanroom Performance Testing (Microelectronics & Semiconductors)

ห้องคลีนรูมสำหรับอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์และเซมิคอนดักเตอร์ เป็นห้องที่ต้องมีการจำกัดปริมาณฝุ่นไม่ให้ไหลเข้าไปในห้อง และมีการควบคุมการใช้งานอย่างเข้มงวด เนื่องจากเป็นอุปกรณ์ที่มีความเปราะบางและอ่อนไหวต่ออนุภาคต่างๆ เป็นอย่างมาก และถูกจัดเป็นประเภทห้องคลีนรูมแรงดันบวก ที่มีการดึงอากาศสู่ภายนอกให้หลงเหลือฝุ่นและอนุภาคภายในให้น้อยที่สุด 

โดยการทดสอบ ได้แก่

1) การวัดการไหลเวียนของอากาศ (Airflow Velocity Test)

a จุดประสงค์ในการทดสอบ

• เพื่อหาค่าการไหลเวียนอากาศของอากาศที่จ่ายเข้าห้องคลีนรูมโดยเฉลี่ย (Average Supply Airflow Velocity) ที่ผ่านเข้ามาจากแผ่นกรองบนเพดาน
• เพื่อหาค่าการไหลเวียนของอากาศทั่วทั้งห้องคลีนรูม
• หาค่าการไหลเวียนของอากาศในบริเวณ 50 มม. 150 มม. หรือ 300 มม. ด้านล่างของผิวหน้าแผ่นกรองบนเพดาน

b กระบวนการทดสอบ

• การวัดค่าและบันทึกค่าการไหลเวียนของอากาศผ่านเครื่องกรอง โดยใช้เครื่อง Thermal Anemometer หรือ Tube Array ด้วย Digital Manometer
• การวัดค่าและบันทึกค่าการไหลเวียนของอากาศ
• วัดค่าการไหลเวียนของอากาศค้างไว้ 5 วินาที คิดค่าเฉลี่ย 2 ค่าเพื่อการอ่านค่าที่บันทึกได้

c เกณฑ์ที่รับได้ (Acceptance Criteria)

• ค่าการไหลเวียนของอากาศที่จ่ายเข้าผ่านตัวกรองแต่ละตัวต้องมีค่า ±10% ของการออกแบบค่าอากาศไหลเวียน
• ค่าการไหลเวียนอากาศเฉลี่ย หรือทั้งหมดในห้องคลีนรูม ควรจะมีค่า ±10% ของการออกแบบค่าอากาศไหลเวียน
• ค่าเบี่ยงเบนมาตรฐานสัมพัทธ์ในการวัดค่าไหลเวียนอากาศ ไม่ควรเกิน 15%

2) ระบบเพดานห้องคลีนรูม (Cleanroom Ceiling System) / การทดสอบการรั่วไหลของตัวกรอง (Filter Leakage Test)

a จุดประสงค์ในการทดสอบ

• เป็นการวัดค่าความแข็งแรงของระบบเพดานคลีนรูม และตัวกรอง (Filter) หลังจากการติดตั้ง
• การวัดค่าการรั่วไหลที่ผ่านส่วนประกอบใดส่วนประกอบหนึ่งในระบบเพดานห้องคลีนรูม

b กระบวนการทดสอบ

• ทดสอบจากส่วนประกอบทั้งหมดของระบบเพดานห้องคลีนรูม
• ปล่อยสาร Microsphere* ผ่าน Generator ไปสู่ระบบอากาศที่หมุนเวียนในห้องคลีนรูม
• วัดและบันทึกค่า
• คำนวณอัตราทดสอบการรั่วไหลผ่านมาตรฐานที่ NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanrooms กำนด โดยร่วมกับการอนุมัติจากเจ้าของโครงการ หรือผู้บริหารงานก่อสร้าง (Construction Manager) กำหนดค่า Np (Np Values) เพื่อใช้เป็นส่วนหนึ่งในการคำนวณ 
• สแกนพื้นที่แผ่นกรองด้านล่างที่มีค่าความเร็วคงที่ (isokinetic) ในส่วนที่ซ้อนทับกัน โดยอัตราที่ได้ต้องไม่มากกว่า 0.05 m/s (10 fpm) ในระยะทาง 25 mm ข้างล่างผิวหน้าตัวกรอง
• สแกนรอยต่อระหว่างส่วนประกอบระบบเพดาน ทั้งช่องว่างระหว่างเพดานและตัวกรอง รอยต่อระหว่างผนังถึงเพดาน ท่อสปริงเกอร์และท่อร้อยสายไฟ
• การวัดค่าอนุภาคที่ตรวจพบถึงค่า Np จะถูกนับว่าเป็นการรั่วไหล 
• การซ่อมแซมรอยรั่ว และการตรวจสอบระบบเพดานห้องคลีนรูมซ้ำอีกครั้งจะเป็นการทดสอบตามที่ระบุไว้ในหนังสือสัญญา หรือตามที่ตกลงกันไว้ระหว่าง Owner / ผู้รับเหมา และองค์กรที่รับตรวจสอบห้องคลีนรูม (NEBB Certified CPT Firm)

*อนุภาคขนาดเล็กที่กักเก็บสารที่เป็นของแข็ง และนำมาใช้ในรูปแบบของละอองลอย (Aerosol) ด้วยการเปลี่ยนสถานะให้เป็นแก๊สผ่าน Generator

c เกณฑ์ที่รับได้ (Acceptance Criteria)

• ส่วนประกอบระบบเพดานห้องคลีนรูมที่มีการรั่วไหลถึง 0.01% ของความหนาแน่นที่ตรวจสอบได้ จะไม่ผ่านเกณฑ์การทดสอบ
• แผ่นกรองที่มี Dimension เกิน 38 mm (1.5 นิ้ว) ในด้านยาวหรือพื้นที่ซ่อมแซมรวมสะสม (Accumulative Total Repair Area) มีค่า 3% ของเนื้อที่แผ่นกรองชั้น Media ทั้งหมด จะไม่ผ่านเกณฑ์การทดสอบ

3) การวัดค่าอนุภาคในอากาศ (Airborne Particle Count Cleanliness Classification Test)

a จุดประสงค์ในการทดสอบ

• วัดค่าอนุภาคที่อยู่ในอากาศ เพื่อจัดระดับ Class ของห้องคลีนรูม (Cleanroom Classification) โดยวัดจากระดับค่าอนุภาคที่วัดได้ภายในพื้นที่ในภาวะการวัดฝุ่น (Occupancy State) ทั้งตอนสร้างเสร็จ (At-built) ตอนติดเครื่องจักรเสร็จ (At-rest) และตอนมีผู้ใช้งานห้องคลีนรูม (Operational)

b กระบวนการทดสอบ

• ทดสอบการรั่วไหลของแผ่นกรอง การทดสอบอากาศที่ไหลเข้าสู่ห้องคลีนรูมผ่านตัวกรอง ทดสอบค่าความดัน การไหลเวียนของอากาศก่อน แล้วจึงทดสอบสภาวะฝุนในห้อง
• ทดสอบในระยะห่าง 1066 mm (42 นิ้ว) เหนือพื้นขึ้นไป โดยอิงจากค่ามาตรฐานใน ISO 14644-1
• การทดสอบซ้ำในกรณีที่เกิดปัญหาจากสถานที่ สามารถทำได้จากการตกลงกัน หรือในหนังสือสัญญาระหว่างเจ้าของ / ผู้รับเหมา และองค์กรที่รับตรวจสอบห้องคลีนรูม (NEBB Certified CPT Firm)

c เกณฑ์ที่รับได้ (Acceptance Criteria)

• ค่าฝุ่นที่วัดได้ต้องเป็นไปตามระดับ Class ของคลีนรูมที่กำหนดไว้ตั้งแต่แรก ซึ่งเป็นค่าที่กำหนดหรือต่ำกว่า นอกจากนี้หากมีค่าที่ทดสอบได้มากกว่า 1 และน้อยกว่า 10 ค่าเฉลี่ยของค่าเหล่านี้ต้องมีค่าเท่ากับหรือต่ำว่า Class ที่กำหนด ใน 95% ของการกำหนดขอบเขตสูงสุด (Upper Confidence Limits: UCL)*
• ถ้าผลลัพธ์ที่ได้ไม่เป็นไปตามข้อกำหนดจากการคำนวณ 95% UCL จาก ‘ค่าผิดปกติ (Outlier Values)’ 1 ชุด โดยไม่ต้องระบุลงไปในการคำนวณหาค่าใหม่ของการวิเคราะห์ 95% UCL ซึ่งมีค่าผิดปกติที่เกิดจากความผิดพลาดของขั้นตอนหรืออุปกรณ์ที่ทำงานผิดปกติ ดังนั้น การคำนวณซ้ำเกิดจากตำแหน่งของค่าตัวอย่าง และมีอย่างน้อย 3 ตัวอย่างที่ใช้คำนวณซ้ำ นอกจากนี้ สาเหตุของการเกิดค่าผิดปกติ (Outlier Values) ที่ถูกบันทึกไว้ และการลบค่านั้นจากการคำนวณ 95% UCL ออกจะขึ้นอยู่กับการตกลงกันระหว่างเจ้าของ / ผู้รับเหมา และองค์กรที่รับตรวจสอบห้องคลีนรูม (NEBB Certified CPT Firm)
• สามารถสร้างโซนสะอาดในการทำงาน (Clean work zone) ในห้องคลีนรูมได้ โดยจะต้องมีการจัด Class จากการวัดค่าฝุ่นที่รับได้สูงสุดในโซนนั้น (เพื่อไม่ให้ค่าฝุ่นทั้งหมดเกินเกณฑ์มาตรฐานที่กำหนด)

*เป็นการคำนวณหนึ่งในเชิงสถิติเพื่อหาค่าความเชื่อมั่นสูงสุด โดยเกิดจากการเลือกค่าตัวอย่างซ้ำ  (Repeated Random Samples) จากประชากร (Population) และการคำนวณค่าเฉลี่ย ในแต่ละจำนวนตัวอย่างที่เลือกมา (Samples)

4) การวัดค่าแรงดัน (Pressurization Test)

a จุดประสงค์ในการทดสอบ

• เพื่อให้มั่นใจได้ว่าระบบหมุนเวียนอากาศ (Air-handling Systems) ว่ามีความสามารถในการรักษาระดับความแตกต่างของความดันห้องคลีนรูมและภายนอกตาม Spec ที่ออกแบบไว้ตั้งแต่แรกได้ (กล่าวคือ เป็นการรักษาค่าความดันบวก หรือลบของห้องคลีนรูมที่กำหนดนั่นเอง)

b กระบวนการทดสอบ

• วัดและบันทึกค่าความแตกต่างของความดันสัมพัทธ์ (Relative Pressure Differential) ระหว่างห้องคลีนรูมและบริเวณใกล้เคียง
• วัดและบันทึกค่าความแตกต่างของความดันสัมพัทธ์ (Relative Pressure Differential) ตามลำดับ จากพื้นที่ที่ต้องการความสะอาดสูงสุด

c เกณฑ์ที่รับได้ (Acceptance Criteria)

• เปรียบเทียบค่ากับค่าความแตกต่างของความดันกับคลีนรูมที่ออกแบบตอนแรกเริ่ม (ขึ้นอยู่กับว่าต้องการออกแบบคลีนรูมแรงดันบวก หรือคลีนรูมแรงดันลบ)

5) การวัดค่าการหมุนเวียนอากาศคู่ขนาน (Airflow Parallelism Test)

a จุดประสงค์ในการทดสอบ

• เพื่อตรวจสอบทิศทางการไหลในแนวตั้งคู่ขนานของกระแสลมที่จ่ายเข้าห้องคลีนรูม (Supply Air)

b กระบวนการทดสอบ

• วัดและบันทึกค่าเส้นทางการไหลของอากาศคู่ขนานในแนวตั้ง (Parallel Vertical Flow Path) 
• แบ่งห้องคลีนรูมเป็นช่องเท่าๆ กัน โดยพื้นที่มากสุดอยู่ที่ 3 เมตร x 3 เมตร และวัดค่าบริเวณตรงกลางแต่ละช่อง

c เกณฑ์ที่รับได้ (Acceptance Criteria)

• มุมโก่งตัว (Angle of Deflection) ไม่ควรมีค่ามากกว่า 14 องศาจากจุดศูนย์กลาง เมื่อวัดค่าที่ความสูงจากพื้นมากกว่า 915 mm

6) การทดสอบการฟื้นตัว (Recovery Test)

a จุดประสงค์ในการทดสอบ

• เป็นการทดสอบระบบหมุนเวียนอากาศ (Air-handling Systems) ในห้องคลีนรูมว่าสามารถคืนค่าความสะอาดของคลีนรูม (ตาม Class ที่กำหนด) หลังจากมีการปนเปื้อนจากอนุภาค หรือฝุ่นได้มากน้อยแค่ไหน

b กระบวนการทดสอบ

• วัดค่าฝุ่นในตอนแรกเริ่มของการใช้ห้องคลีนรูม
• ใส่อนุภาคเข้าไปในอากาศที่จ่ายเข้าห้องคลีนรูม (Supply Air) เพื่อให้มีปริมาณฝุ่นมากขึ้น โดยมีค่าดังนี้

• ISO Class 5 และ Class ที่สะอาดกว่า: ต้องเพิ่มปริมาณฝุ่นเข้าไป 100 เท่าของค่าความสะอาดเป้าหมายที่กำหนด
• ISO Class 6 และ Class 6 ขึ้นไป: ต้องเพิ่มปริมาณฝุ่นเข้าไป 10 เท่าของค่าความสะอาดเป้าหมายที่กำหนด

• ปิดเครื่องสร้างละอองลอย (Aerosol Challenge)
• นับอนุภาคเป็นเวลา 6 วินาทีในการวัดตัวอย่างแต่ละนาที จนกว่าจำนวนอนุภาคจะกลับสู่ระดับความสะอาดเป้าหมายที่วัดได้ก่อนการทดสอบ
• บันทึกเวลาในการคืนค่าความสะอาดในห้องคลีนรูมจากระบบหมุนเวียนอากาศ (Air-handling Systems)

c เกณฑ์ที่รับได้ (Acceptance Criteria)

• ขึ้นอยู่กับค่าที่ตกลงกันไว้กับเจ้าของโครงการ

7) การทดสอบระดับแสง (Lighting Level Test)

a จุดประสงค์ในการทดสอบ

เพื่อตรวจสอบว่าระดับแสงที่ติดตั้ง และความสม่ำเสมอของแสงเป็นไปตามข้อกำหนดของ Spec ห้องคลีนรูมตั้งแต่การออกแบบ

b กระบวนการทดสอบ

• ในพื้นที่ที่มีความเข้มของแสงสูง (High Intensity) หรือระบบเรืองแสง (Fluorescent Systems) ในการติดตั้งระบบไฟใหม่ ต้องตรวจสอบว่าหลอดไฟทำงานเป็นเวลาขั้นต่ำก่อนการวัด 100 ชั่วโมงแล้ว
• ในพื้นที่ที่มีความเข้มของแสงสูง (High Intensity) หรือระบบเรืองแสง (Fluorescent Systems) ต้องใช้งานเป็นเวลาอย่างน้อย 2 ชั่วโมงก่อนทำการวัด
• การวัดค่าความสว่างควรตรวจสอบภายในช่วงที่ใช้งานจริง โดยแสงไฟในพื้นที่ทั้งหมด ได้แก่ หลอดไฟทั้งหมด ไฟที่ใช้บนโต๊ะทำงาน และไฟจากแหล่งอื่นๆ ควรทดสอบอยู่ในสภาวะที่ใช้งานอยู่
• การทดสอบควรทดสอบจากตำแหน่งที่ระบุ ทั้งแสงภายนอกและจากอุอุปกรณ์ให้แสงสว่างที่ใช้ภายในร่วมกัน
• เตรียม Grid ในการทดสอบจากขนาดของห้องและประเภทของอุปกรณ์ให้แสงสว่าง พื้นที่ภายในและพื้นที่ตั้ง
• วัดค่าความเข้มแสงที่ความสูง 915 mm จากพื้น โดยใช้สูตรคำนวณที่ 11-1, 11-2, 11-3, 11-4, หรือ 11-5 จาก มาตรฐานการทดสอบในการตรวจสอบห้องคลีนรูมจาก NEBB (NEBB Procedural Standards for Certified Testing of Cleanrooms)

c เกณฑ์ที่รับได้ (Acceptance Criteria)

• เปรียบเทียบระดับแสงจริงกับข้อกำหนดในการออกแบบห้องคลีนรูมที่ตั้งไว้ตั้งแต่แรกเริ่ม

8) การทดสอบระดับเสียง (Sound Level Test)

a จุดประสงค์ในการทดสอบ

• เพื่อกำหนดระดับเสียงในการใช้ห้องคลีนรูมที่เกิดขึ้นโดยระบบภายในห้อง จากการวัดภาวะห้องคลีนรูม (Occupancy State) ทั้งตอนสร้างเสร็จ (At-built) ตอนติดเครื่องจักรเสร็จ (At-rest) และตอนมีผู้ใช้งานห้องคลีนรูม (Operational)

b กระบวนการทดสอบ

• วัดและบันทึกค่าเสียงรบกวนในห้องคลีนรูมเมื่อห้องคลีนรูมอยู่ในสภาวะจำเพาะอย่าง (At-built, At-rest หรือ Operational) ที่ต้องการทดสอบ

c เกณฑ์ที่รับได้ (Acceptance Criteria)

• เปรียบเทียบระดับความดันเสียงจริง (Sound Pressure Levels) กับเกณฑ์การออกแบบเสียงที่กำหนดไว้

9) การทดสอบระดับความสั่นสะเทือน (Vibration Level Test)

a จุดประสงค์ในการทดสอบ

• ประเมินค่าแรงสั่นสะเทือนจากกิจกรรมในห้องคลีนรูมปกติ และการดำเนินการต่างๆ ในห้องคลีนรูม เช่น การเคลื่อนย้ายสิ่งของ การใช้งานเครื่องจักรภายในคลีนรูม เป็นต้น

b กระบวนการทดสอบ

• วัดและบันทึกค่าแรงสั่นสะเทือนของเครื่องจักรที่มีการหมุน การแกว่ง หรือระยะทางที่เครื่องจักรเคลื่อนที่ไปมา (Vibration Displacement) ความเร็วในการสั่นสะเทือน (Velocity) และการเร่งความเร็ว (Acceleration) ในจุดที่ต้องการตรวจสอบตามความต้องกรของ Owner ในสภาวะจำเพาะที่กำหนด
• วางเครื่อง Accelerometers เหนืออุปกรณ์ หรือพื้นยก (Raised Floor) ในห้องคลีนรูม ตามที่ Owner ต้องการ
• วัดค่าและบันทึกผลของระดับแรงสั่นสะเทือนในค่า RMS* ในระยะทางที่เครื่องจักรเคลื่อนที่ไปมา (Displacement) ในจุด Peak-to-Peak (ระยะการเคลื่อนที่ที่สูงที่สุดในการสั่นสะเทือน) ความเร็วในการสั่นสะเทือน (Velocity) ในจุด Zero-to-Peak (ระยะการเคลื่อนที่จากศูนย์ถึงจุดที่สูงที่สุดในการสั่นสะเทือน) และค่าความเร่ง (Acceleration) ในจุด Zero-to-Peak

*เรียกอีกชื่อว่า ‘ค่าเฉลี่ยกำลังสอง’ ย่อมาจาก Root Mean Square เป็นค่าที่วัดจากคลื่นสัญญาณไฟฟ้าหรือแรงดันที่มีการเปลี่ยนแปลงไปมา

c เกณฑ์ที่รับได้ (Acceptance Criteria)

• ค่าการตรวจสอบขึ้นอยู่กับระดับแรงสั่นสะเทือนที่ตกลงกับ Owner

10) การตรวจสอบความสม่ำเสมอของอุณหภูมิและความชื้น (Comprehensive Temperature and Humidity Uniformity Test)

a จุดประสงค์ในการทดสอบ

• เพื่อตรวจสอบว่าระบบในห้องคลีนรูมสามารถรองรับและควบคุมอุณหภูมิและความชื้นสัมพัทธ์ (Temperature and Relative Humidity) เพื่อให้ได้ตามค่าที่กำหนด
• เพื่อตรวจสอบความสม่ำเสมอของสภาพแวดล้อมทั่วทั้งห้องคลีนรูม
• เพื่อยืนยันค่าความเสถียรของสถาพแวดล้อมที่จุดควบคุม

b กระบวนการทดสอบ

• กำหนดตำแหน่งอุณหภูมิและความชิ้นสัมพัทธ์ขั้นต่ำ 1 ตำแหน่งที่จะวัดในแต่ละโซนที่มีการควบคุมอุณหภูมิ
• ตรวจสอบว่าระบบ HVAC หรือระบบระบายอากาศในห้องคลีนรูม ในเกณฑ์ TAB (Testing, Adjusting & Balancing) เสร็จเรียบร้อยก่อนการทดสอบนี้
• ตรวจสอบว่าการวัดค่าการไหลเวียนของอากาศ (Airflow Velocity Test) เสร็จเรียบร้อยและอยู่ในเกณฑ์มาตรฐานก่อนการทดสอบนี้
• ปล่อยให้ระบบ HVAC ทำงานโดยการควบคุมอัตโนมัติอย่างน้อย 24 ชั่วโมงก่อนการทดสอบ ระบบสนับสนุนอื่นๆ (Support Systems) ควรจะอยู่ในการทำงานอัตโนมัติตามปกติภายใต้การควบคุมของผู้ควบคุมอย่างน้อย 7 วัน 
• วางเซนเซอร์วัดอุณหภูมิและความชื้นเป็นระยะๆ ในแต่ละพื้นที่ที่กำหนด เพื่อให้เซนเซอร์และการวัดค่ามีความเสถียร
• วัดและบันทึกค่าอุณหภูมิและความชื้นพร้อมๆ กันในแต่ละจุด ทุกๆ 6 นาทีในช่วงเวลาอย่างน้อย 2 ชั่วโมง

c เกณฑ์ที่รับได้ (Acceptance Criteria)

• ค่าที่ยอมรับได้ขึ้นอยู่กับข้อตกลงและความต้องการของ Owner

11) การตรวจสอบไฟฟ้าสถิต (Electrostatic Test)

a จุดประสงค์ในการทดสอบ

• เพื่อกำหนดเกณฑ์มาตรฐานความหนาแน่นของประจุบวก และประจุลบในอากาศภายในห้องคลีนรูมที่กำหนด

b กระบวนการทดสอบ

• ระดับพื้นผิวแรงดันไฟฟ้า (Surface Voltage Level) จะเป็นการวัดที่จุดวัดหรือวัตถุที่ระบุไว้ หรือตามที่ตกลงกันระหว่าง Owner/ ผู้รับเหมา และองค์กรที่รับตรวจสอบห้องคลีนรูม (NEBB Certified CPT Firm)

• วางเครื่องวัด/ แหย่ (Probe) กับแผ่นโลหะที่มีสายต่อลงดิน และปรับค่า Output ของเครื่อง Electrostatic Voltmeter ไปที่ 0
• ถือ Probe ขนานกับแผ่นโลหะ และในระยะห่างตามที่ตกลงกับฝั่งผู้ผลิตไว้
• แผ่นโลหะควรจะมีผิวหน้าที่ใหญ่พอสำหรับรูรับแสงของเครื่องวัดที่ต้องการ และกว้างพอสำหรับวัดอัตราส่วนระหว่างพื้นผิว
• ถืออุปกรณ์ในตำแหน่งเดียวกันกับค่า 0 จากนั้นวางไว้ใกล้กับพื้นผิวของวัตถุที่ต้องการวัดประจุและวัดค่าแรงดันไฟฟ้า (Voltage) ที่พื้นผิว

• การทดสอบการกระจายตัวของไฟฟ้าสถิต (Static Dissipative Test) โดยต้องตั้งค่าเครื่อง Electrodes ในระยะห่างที่ถูกต้องจากพื้นผิวในการตกลงกันกับฝั่งผู้ผลิต

• วางเครื่องวัด/ แหย่ (Probe) กับแผ่นโลหะที่มีสายต่อลงดิน และปรับค่า Output ของเครื่อง Electrostatic Voltmeter ไปที่ 0
• เงื่อนไขในการตรวจสอบที่เฉพาะเจาะจง ให้เป็นไปตามข้อตกลงระหว่าง Owner/ ผู้รับเหมา และองค์กรที่รับตรวจสอบห้องคลีนรูม (NEBB Certified CPT Firm)

• การทดสอบด้วยเครื่องกำเนิดไอออน (Ion Generator Test) โดยประสิทธิภาพของเครื่องนี้จะทำการทดสอบโดยเวลาในการคายประจุและการวัด Offset Voltage โดยที่ความไม่สมดุลระหว่างประจุลบและบวกที่อยู่ในการไหลของประจุในอากาศจะวัดได้ด้วยค่า Offset Voltage และจุดวัดหรือวัตถุที่ใช้ตรวจสอบจะมีการระบุไว้เฉพาะ หรือเป็นไปตามที่ตกลงกันระหว่าง Owner/ ผู้รับเหมา และองค์กรที่รับตรวจสอบห้องคลีนรูม (NEBB Certified CPT Firm)

• ใช้แผ่นตัวนำไฟฟ้าแยก (Isolated Conductive Plates) กับค่าความจุที่รู้อยู่แล้ว
• แผ่นตัวนำไฟฟ้าแยก (Isolated Conductive Plates) จะชาร์จด้วยค่าแรงดันไฟฟ้าบวก (Positive Voltage) จากแหล่งพลังงาน
• ใช้ตัวนำไฟฟ้าแยกเพื่อวัดค่าอากาศหมุนเวียนในห้องคลีนรูมที่เป็นประจุโดยเครื่องกำเนิดประจุแบบสองขั้ว (Bipolar Ion Generator)
• วัดการเปลี่ยนแปลงประจุไฟฟ้าสถิตของแผ่นโลหะ
• วัดเวลาที่ใช้ในการทำให้ค่าแรงดันไฟฟ้าสถิตบนแผ่นโลหะลดลงเหลือ 10% จากสภาวะแรงดันเริ่มต้น
• ทำกระบวนการทดสอบซ้ำกับแผ่นโลหะกับค่าแรงดันไฟฟ้าลบที่รู้ค่าอยู่แล้ว

• การทดสอบแรงดันไฟฟ้าแบบ Offset (Offset Voltage Test) จะมีจุดวัดหรือวัตถุที่ใช้ตรวจสอบจะมีการระบุไว้เฉพาะ หรือเป็นไปตามที่ตกลงกันระหว่าง Owner/ ผู้รับเหมา และองค์กรที่รับตรวจสอบห้องคลีนรูม (NEBB Certified CPT Firm)

• ใช้แผ่นนำไฟฟ้าแยกในค่าความจุที่รู้
• ปูแผ่นนำไฟฟ้าแยก
• เช็กว่าค่าแรงดันไฟฟ้าอยู่ที่ 0
• เชื่อมเครื่อง Electrostatic Voltmeter กับแผ่นโลหะ
• ใช้ตัวนำไฟฟ้าแยกเพื่อวัดค่าอากาศหมุนเวียนในห้องคลีนรูมที่เป็นประจุโดยเครื่องกำเนิดประจุแบบสองขั้ว (Bipolar Ion Generator) จนกระทั่งแรงดันไฟฟ้าเสถียร

c เกณฑ์ที่รับได้ (Acceptance Criteria)

• ค่าที่รับได้จะอยู่ที่การตกลงกันกับ Owner โดยขึ้นอยู่กับความไวต่อไฟฟ้าสถิตของอุปกรณ์ที่อยู่ในบริเวณนั้นๆ

12) การทดสอบการนำไฟฟ้า (Conductivity Test)

a จุดประสงค์ในการทดสอบ

• เพื่อวัดค่าความต้านทานระหว่างจุดที่กำหนดบนพื้น
• เพื่อวัดค่าความต้านทานจากพื้นผิวของพื้นถึงพื้นอาคารในจุดที่กำหนดในอาคาร

b กระบวนการทดสอบ

• Tile-to-Tile เป็นการทดสอบค่าการนำไฟฟ้าในจำนวนคู่กระเบื้องที่กำหนด

• ควรทดสอบพื้นด้วยอุณหภูมิกับความชื้นสัมพัทธ์ ตามที่ระบุไว้ หรือตามที่ตกลงกันระหว่าง Owner/ ผู้รับเหมา และและองค์กรที่รับตรวจสอบห้องคลีนรูม (NEBB Certified CPT Firm)
• วัดจุดที่กำหนดในการทดสอบ 5 คู่ตามที่ระบุไว้ หรือตามที่ตกลงกันระหว่าง Owner/ ผู้รับเหมา และและองค์กรที่รับตรวจสอบห้องคลีนรูม (NEBB Certified CPT Firm)
• วัดความต้านทานด้วย Ohmmeter ที่มีค่าเที่ยงตรง
• การวัดค่าบนพื้นยกควรจะวัดระหว่างคู่กระเบื้อง และครรมีส่วนประกอบบางส่วน (หรือทั้งหมด) ดังนี้ 

1. วัดจากศูนย์กลางของกระเบื้องที่ทดสอบไปยังกึ่งกลางของกระเบื้องที่อยู่ติดกัน
2. วัดจากมุมของกระเบื้องที่ทดสอบไปถึงมุมของกระเบื้องใดก็ได้ถัดไป 2 ตำแหน่ง
3. วัดจากศูนย์กลางของกระเบื้องที่ทดสอบกับฐานรองรับพื้น (Supporting Pedestal)
4. วัดจากศูนย์กลางของกระเบื้องที่ทดสอบกับกระเบื้องที่เคลื่อบสีนำไฟฟ้าที่ครอบคลุมไปถึงพื้นคอนกรีต

• Floor-to-Building Ground เป็นการทดสอบค่าการนำไฟฟ้าจากพื้นผิวหน้าสุดของพื้น (Floor Covering) ถึงพื้นของอาคาร (สำหรับพื้นยกเท่านั้น)

• ควรทดสอบพื้นด้วยอุณหภูมิกับความชื้นสัมพัทธ์ ตามที่ระบุไว้ หรือตามที่ตกลงกันระหว่าง Owner/ ผู้รับเหมา และและองค์กรที่รับตรวจสอบห้องคลีนรูม (NEBB Certified CPT Firm)
• ควรทดสอบ 20 จุดในสถานที่ตามที่ระบุไว้ หรือตามที่ตกลงกันระหว่าง Owner/ ผู้รับเหมา และและองค์กรที่รับตรวจสอบห้องคลีนรูม (NEBB Certified CPT Firm)
• ควรทดสอบ 20 จุดในสถานที่ในแต่ละห้องและนำค่าที่ได้มาหาค่าเฉลี่ย
• วัดความต้านทานด้วย Ohmmeter ที่มีค่าเที่ยงตรง
• ควรวัดกับ Electrode 1 ตัวบนพื้นเชื่อมต่อกับ Ohmmeter โดยปลายอีกด้านของ Ohmmeter จะเชื่อมต่อกับพื้นที่อาคารที่ใกล้ที่สุด หรือตัวนำสายดิน

c เกณฑ์ที่รับได้ (Acceptance Criteria)

• การวัดค่าแบบ Tile-to-Tile ควรจะมีค่าเฉลี่ยน้อยกว่า 1 เมกะโอห์ม
• การวัดค่าแบบ Floor-to-Building Ground ควรจะมีค่าเฉลี่ยน้อยกว่า 1 เมกะโอห์ม

13) การทดสอบการรบกวนทางแม่เหล็กไฟฟ้า (Electromagnetic Interference Test: EMI Test)

a จุดประสงค์ในการทดสอบ

• เพื่อตรวจสอบการรบกวนทางแม่เหล็กไฟฟ้าที่เกิดจากระดับสนามแม่เหล็ก 60 Hz ในตำแหน่งเฉพาะภายในห้องคลีนรูมที่ทดสอบ

b กระบวนการทดสอบ

• วัดและบันทึกค่าความเข้มของสนามแม่เหล็กที่ 5 พื้นที่ที่มีการรบกวนขั้นวิกฤตจากการคัดเบือกโดย Owner
• ทดสอบเหนือพื้นขึ้นมา 1067 mm
• ทดสอบความเข้มของสนามแม่เหล็กโดยปิดการทำงานของอุปกรณ์ทั้งหมดในพื้นที่ นอกจากแสงไฟและพัดลม
• วัดและบันทึกค่าความเข้มสนามแม่เหล็ก (Flux Density) ในหน่วย milligauss 

c เกณฑ์ที่รับได้ (Acceptance Criteria)

• ขึ้นอยู่กับการทดสอบ EMI Test ที่ตกลงกับ Owner โดยค่าที่ยอมรับได้คือน้อยกว่า 1 milligauss 

นอกจากการทดสอบข้างต้นแล้ว Cleanroom Performance Testing (CPT) ยังมีอีก 1 ประเภทแยกออกมาเฉพาะตัว อย่างการทดสอบห้องคลีนรูมที่ใช้ในเชิงชีวภาพ Cleanroom Performance Testing (Bio-Medical & Pharmaceutical) ซึ่ง Cleanroom by VOV International จะอธิบายแยกไว้ในบทความถัดไป

นอกจากนี้ สามารถอ่านหลักการออกแบบห้องคลีนรูม และ 7 สาเหตุที่ทำให้การทดสอบคลีนรูมไม่ผ่านตามมาตรฐาน NEBB ได้ที่นี่

_

Cleanroom by VOV International ผู้เชี่ยวชาญ รับเหมา ติดตั้ง และตรวจสอบห้องคลีนรูมที่ได้การรับรองจาก #NEBB ให้คำปรึกษา และช่วยดูแลการทำห้องคลีนรูมทุกรูปแบบ